Equal1成功以商業CMOS製程製造量子點陣列，引領量子運算邁向可擴展新紀元
科技產業資訊室(iKnow) - 黃松勳 發表於 2025年4月18日
圖、Equal1成功以商業CMOS製程製造量子點陣列，引領量子運算邁向可擴展新紀元
全球矽基量子運算領導者Equal1近期宣布，其已成功驗證可用於量子點生成的商業CMOS製程，透過與格羅方德(GlobalFoundries)合作，採用其22FDX® FD-SOI製程實現首次於商業製程中建立具可調耦合能力的多量子點陣列。這一創舉證實量子運算技術可望與傳統半導體產業鏈無縫接軌，推動量子系統朝大規模實用邁進。
Equal1的成果象徵著量子科技不再只是學術實驗室中的理論嘗試，而是正逐步進入可量產、可商轉的階段。這項里程碑不僅顯示量子元件可在成熟製程下製造，亦標誌著Quantum 2.0時代的來臨，即量子與傳統系統的深度整合成為產業新常態。
Equal1此次技術突破的核心，在於將標準多閘極電晶體轉換為具可控隧道耦合的量子點陣列。此舉為以自旋量子位為基礎的架構提供可擴展解方，更為實用化量子晶片奠定製程標準，代表業界朝向大規模量子計算部署邁出關鍵一步。
此次成果的實現倚賴GlobalFoundries所提供的22奈米FD-SOI製程平台。該平台原本已支援高整合度的SoC功能，如今成功擴展至量子元件，顯示其在量子與傳統系統整合上的高度彈性與潛力。
Equal1設計的單晶量子晶片內含29個NMOS與PMOS組成的量子單元，每個單元皆能容納最多三個隧道耦合的量子點與電荷感測器。該系統經過低溫70 mK 至 1.2 K溫度範圍的測試後，皆展現穩定操作與優異性能，為矽自旋量子位技術提供穩固基礎。
矽自旋量子位因具備高相干性與CMOS製程兼容特性，已被視為實現量子運算擴展性的理想選擇。Equal1此次以標準矽製程實現功能性量子元件，印證該技術可望避開依賴特殊材料或定製流程的發展瓶頸。
與其依賴實驗室級製程，Equal1轉向成熟商業平台並獲得成功，顯示市場未來有望見到更多基於標準晶圓代工技術的量子產品誕生。此舉對推動產業供應鏈建構與製程標準化具有深遠意義。
Equal1與GF建立的合作關係不僅止於技術支援，更朝共同優化22FDX設計邁進。GF高層指出，該平台的背閘控制功能對於量子應用性能優化具重要助益，亦有助該平台成為量子應用的關鍵基礎。
Equal1透過CMOS兼容的量子點技術，打破量子運算無法擴展的迷思，進一步證明先進量子系統可以與現有製程技術兼容。Equal1的實例為全球產業界提供一條可行、可擴展的量子發展之路。(830字；圖1)
參考資料：
Equal1 advances scalable quantum computing with CMOS-compatible silicon spin qubit technology. Equal1. 2025/04/16.
Equal1 Reaches Quantum Milestone with CMOS Process Validation for Scalable Silicon Spin Qubits. Embedded. 2025/04/16.
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